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　　在許多實驗中一般的經驗表明，如果在合理的的去除速率條件下最好的精度可以通過功率密度選擇在5-10倍的閾值超短激光脈沖獲得。對金屬而言，這意味著10PS的脈沖的能量密度應該為1Jcm2。如果微機械加工的激光束被聚焦成典型的直徑10m的光斑，那么最佳的脈沖能量應該為1J。在這種情況下每個激光脈沖熔化的材料厚度的典型值為10-100nm，等離子的形成是最小的，質量是很好的，可以加工出來0。1m精度的微結構。　　STACCATO皮秒激光器的100個脈沖處理后，材料按照定義的方式被去除，以致激光束的輪廓被映射到材料上。有希望的實際應用是為機械，化學，液體設計的金屬部件的表面加工。皮秒激光器激光加工可以進行幾乎所有高生產率的結構加工。結構是通過STACCATO激光器在50KHZ，將532nm的光輻射聚焦到直徑為25m的一個點上加工出來的。渦輪葉片表面的適當設計的結構能非常顯著地減小摩檫力，燃料消耗和環境損壞。　　作為上述內容的總結，表面加工激光器應該有皮秒級的脈沖持續時間，幾J的中等脈沖能量和非常高的重復率。這樣的激光器最近由LUMERA投入市場，這款激光器名為RAPID。因為相對簡單的設計，使RAPID這款激光器具有尺寸小的，結構緊湊的特點，它由皮秒激光振蕩器，放大器和非常快的Pockels核組成，以致它能提供高達500KHZ的重復率。超快激光器的微機械加工要求各種加工參數。RAPID的重復率可以從外部進行控制。單脈沖工作，突發模式或任何外部定義的脈沖序列都可以通過TTL脈沖來觸發。這致使各種加工策略成為可能，并能提供光束路徑的控制。光束束斑質量非常好，而且很穩定，在各種重復率的不同環境下幾乎沒有任何影響，這些特點是非常顯著的。RAPID的激光束幾乎接近衍射極限因此表現出良好的可聚焦性。它的脈沖持續時間大約為10ps，脈沖能量即使在高的重復率和轉換成532nm，355nm，266nm的條件下也是足夠超過去除金屬的閾值能量的。脈沖與脈沖的能量變化小于1%rms。　　皮秒激光器的技術設計中，其輸出激光參數、可控性能等指標表明該激光器是金屬表面加工的理想工具，如金屬表面打孔，存儲器的修補，以及在半導體工業中的打標等。12

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